在超高真空下,通常需要知道容器内的气体组分和相应的分压,质谱测量栏目主要讲述了使用四极质谱计进行残余气体分析及分压测量技术。...
2024-02-02 22:22 阅读 阅读全文任何抽气系统中都要采用真空计和质谱计分别测出工艺过程中的压强和气体成分,真空测量栏目主要讲述了真空度测量与真空规校准,真空系统压强及使用质谱计进行残余气体分析等方面知识。...
2024-02-02 22:21 阅读 阅读全文真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程,就是用一定的手段将示漏物质加到被检工件的器壁的某一侧,用仪器(氦质谱检漏仪)或某一方法在另一侧怀疑有漏的地方检测通过漏孔逸出的示漏物质,从而达到检测目的......
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