光刻胶网友收藏

光刻

又称光致抗蚀剂,由感光树脂、增感剂(见光谱增感染料)和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体...
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电子束光刻_全球百科网友收藏

电子束光刻_全球百科

电子束光刻 电子束光刻(通常缩写为电子束光刻、EBL)是一种扫描电子聚焦束以在被称为抗蚀剂(曝光)的电子敏感膜覆盖的表面上绘制自定义形状的实践。电子束改变了抗蚀剂的溶解性,通过将其浸入溶剂中(显影),可以......
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