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资源浏览查阅132次。晶体管,作为集成电路的基本电子组件,晶体管的大小40多年来一直在缩减。在我们的90-nmCMOS工艺中,我们面临着严峻挑战,需要制造门长度不足40nm的晶体管。要求我们实现的光刻与蚀刻控制,以保证整个晶......
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