电子束_百度百科网友收藏

子束_百度百科

电子经过汇集成束。具有高能量密度。它是利用电子枪中阴极所产生的电子在阴阳极间的高压(25-300kV)加速电场作用下被加速至很高的速度(0.3-0.7倍光速),经透镜会聚作用后,形成密集的高速电子流。...
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电子束光刻_全球百科网友收藏

子束光刻_全球百科

电子束光刻 电子束光刻(通常缩写为电子束光刻、EBL)是一种扫描电子聚焦束以在被称为抗蚀剂(曝光)的电子敏感膜覆盖的表面上绘制自定义形状的实践。电子束改变了抗蚀剂的溶解性,通过将其浸入溶剂中(显影),可以......
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